明新科技大學

半導體封裝測試實務人才培育計畫-建置半導體封裝測試類產線

電漿特性分析系統-線性驅動朗繆爾探針

資料更新時間: 2020-02-20 14:55
設備名稱 電漿特性分析系統-線性驅動朗繆爾探針 設備型號 Impedans 02-0045-01
設備領域 電子電機(含循環經濟、綠能科技) 設備所在區域 新竹縣
設備放置地點 明學樓一樓-結構實驗室 採購年度 107
設備主要功能集描述
450 mm 線性驅動朗繆爾探針 (Langmuir Probe System with 450mm Linear - Drive) 量測主機 (Langmuir advanced electronics unit) - 應用軟體:參數設定、量測、分析、繪圖,馬達驅動控制 (Langmuir software suite) - 可換式單,雙探頭 (interchangeable single and double probe tips)
- 450mm 線性馬達 (450mm Linear Drive)
- 量測參數 (Measurement Parameters)
@ 浮動電位:-145V ~ 145V (Floating potential: -145V ~ 145V
@ 電漿電位:-100V ~ 145V (Plasma potential: -100V ~ 145V) @ 電漿密度:1E+6 ~ 3E+13 cm^-3) (Plasma density: 1E+6 ~ 3E+13 cm^-3) @ 離子密度:1 uA/cm^2 ~ 300 mA/cm^2 (Ion current density: 1 uA/cm^2 ~ 300 mA/cm^2) @ 電子能量分布:0 ~ 100 eV (Electron energy distribution function: 0 ~ 100eV)
- RF 頻率適用範圍:400KHz ~ 100MHz (RF Plasma: 400KHz ~ 100MHz)
- 探針長度:450mm (Probe length: 450mm)
- 探針直徑:10mm (Probe diameter: 10mm)
- 探頭長度:10mm (Probe tip length: 10mm) - 探頭直徑:0.4mm (Probe tip diameter: 0.4mm)
- 電壓掃描範圍:-150V ~ 150V (Probe voltage scan range: -150V ~ 150V)
電流範圍:15nA ~ 150mA (Current range: 15nA ~ 150mA)
- 資料讀取解析度:4.5mV / 4.5nA (Data acquisition resolution: 4.5mV / 4.5nA)
- 工作壓力範圍:10 Torr (Working pressure range: < 10 Torr)
設備租借辦法
設備租借收費標準
設備使用是否須接受事前訓練
聯絡方式
保管單位:電子系
聯絡人:張丞勛
聯絡電話:5593142#3155
Email:chtchang@must.edu.tw
設備備註