優化技職校院實作環境計畫

國立高雄科技大學(建工校區/燕巢校區)

半導體封裝測試類產業環境人才計畫

場放射電子顯微鏡

資料更新時間: 2021-02-17 15:52


設備名稱	場放射電子顯微鏡	設備型號	1.
設備領域	電子電機(含循環經濟、綠能科技)	設備所在區域	高雄市
設備放置地點	多功能實習大樓3樓	採購年度	108

設備主要功能集描述

1.二次電子像解析度(SEI Resolution)：≦3.0 nm(at Acc.V=30kV)，≦8 nm(3KV)，≦15 nm (1KV)或更佳

2.背像電子像解析度(BEI Resolution): ≦4.0 nm(at Acc.V=30kV) 或更佳

3.倍率(Magnification)：X5~X300,000 倍或更佳,能隨著加速電壓(Acc.V.)及工作距離(W.D)改變而自動校正

設備租借辦法

設備租借收費標準

設備使用是否須接受事前訓練

否

聯絡方式

保管單位：國立高雄科技大學電機與資訊學院

聯絡人：陳姿妤

聯絡電話：(07)3814526*13003

Email：waoffice01@nkust.edu.tw

設備備註

場放射電子顯微鏡.png