國立高雄科技大學(建工校區/燕巢校區)

半導體封裝測試類產業環境人才計畫

場放射電子顯微鏡

資料更新時間: 2021-02-17 15:52
設備名稱 場放射電子顯微鏡 設備型號 1.
設備領域 電子電機(含循環經濟、綠能科技) 設備所在區域 高雄市
設備放置地點 多功能實習大樓3樓 採購年度 108
設備主要功能集描述
1.二次電子像解析度(SEI Resolution):≦3.0 nm(at Acc.V=30kV),≦8 nm(3KV),≦15 nm (1KV)或更佳

2.背像電子像解析度(BEI Resolution): ≦4.0 nm(at Acc.V=30kV) 或更佳

3.倍率(Magnification):X5~X300,000 倍或更佳,能隨著加速電壓(Acc.V.)及工作距離(W.D)改變而自動校正
設備租借辦法
設備租借收費標準
設備使用是否須接受事前訓練
聯絡方式
保管單位:國立高雄科技大學電機與資訊學院
聯絡人:陳姿妤
聯絡電話:(07)3814526*13003
Email:waoffice01@nkust.edu.tw
設備備註